Verbundvorhaben PEPSI, P-Typ Epitaktische Siliziumwafer, gestartet
Das Teilvorhaben der Universität Konstanz, Gettern mittels porösen Siliziums zur Verbesserung der Ladungsträgerlebensdauer von p-Typ epitaktischen Siliziumwafern, beschäftigt sich mit der Entwicklung von Ätzprozessen, die ein poröses Silizium erzeugen, das im nachfolgenden Reorganisations- und Epitaxieprozess Defekte gettert, so dass die Ladungsträgerlebensdauer der epitaktisch gewachsenen Siliziumschichten den Level des Stands der Technik signifikant überschreiten.